熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。按照安裝方式的不同，我們可以將其分為兩種，一種是插入式，另一種則是管段式，其中： 1、插入式：插入式傳感器可在線安裝、在線維護。安裝過程是首先在管道外壁上焊接帶有外螺紋的底座，在底座上安裝1寸不銹鋼球閥，而后用專用工具將管道打直徑為22mm的孔，打孔完畢后卸下專用工具，最后將傳感器安裝在閥門上并將傳感器插入到管內中心(傳感器的插入位置出廠時已確定)。
2、管段式：管段式熱式氣體質量流量計出廠時已配備和現場管道內徑相同的工藝管道。與現場管道的連接方式為法蘭連接或螺紋連接。法蘭標準符合國標GB/T9119-2000。傳感器材質為不銹鋼，管道材質為碳鋼或不銹鋼。
隨著技術的提升，熱式氣體質量流量計已被廣泛應用于各行各業(yè)中，其中：
1、電力行業(yè)：燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統中各種氣體的測量；燃氣爐氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量；
2、石油與天然氣工業(yè)：能量交換；填井氣回收；燃氣計量；氣體質量分析；泄漏氣測試；天然氣測量；火炬氣的監(jiān)控；
3、化學行業(yè)：煙氣循環(huán)監(jiān)測；采樣系統中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量；電池工廠各種氣體流量測量；
4、紙漿與造紙行業(yè)：廢水處理系統中氣體的測量；煙道流量監(jiān)控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量；
5、冶金行業(yè)：鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制。
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